安全保護系統(tǒng)對任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機設(shè)備和人身安全，對于用戶來說，我們設(shè)計分配了2 級的安全級別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。
不論是工作在自動工作方式，還是手動維護方式，輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作，我們設(shè)計了互鎖電路和程序互鎖的2 級互鎖。條件不充分按錯鍵時，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報警或警告。通過紅黃綠三色報警燈和訊響器的控制動作，分別實現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當流量低于設(shè)定的下限時，紅燈點亮報警，停止工藝進程
鍍膜機通過用戶的使用和生產(chǎn)，證明整個程序化自動控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求?？刂葡到y(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學減反射膜層的透射率等性能指標完全符合航天高性能GaAs 太陽電池的要求，并為今后提高GaAs 太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。
盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機的發(fā)展在國內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國外先進技術(shù)還有一定差距，特別是高端領(lǐng)域。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機所應(yīng)用的控制技術(shù)國際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國內(nèi)真空行業(yè)在高端真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。
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